金属硅中氮含量分析方法研究

　　

研究了ONH836氧氮氢测定仪测定金属硅中氮含量的测定方法。通过正交试验分析了主要因素及水平对测定结果的影响，确定了最佳分析条件。最佳分析条件为采用座坩埚，称样质量为0.05~0.15g，分析功率为4500W。该方法测定下限为0.0020%。分析了该测试方法的精密度及准确度。采用该方法测定硅中氮得到的RSD<6%; 加标回收率在92%~112%之间，满足分析测试准确度要求。

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