
文章简介
一种动态配气仪的设计及其配气方法
设计一种动态配气仪,并描述其配气方法。该配气仪包括原料气通路、稀释气通路和混合管道,各气路配有对应的流量控制器和控制阀。该配气仪结构简单,可控性好,配气方法简单易行,通过采用该配气仪能实现仪器的第一流量控制器与第二流量控制器的自清洁与自校准功能,提高了所配目标气的精度和配气效率,抗腐蚀性好,有利于维护设备,同时若干种原料气并联接入支路,可根据不同需求配比相应的目标气体。
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