无氯技术制备高纯多晶硅工艺浅析

　　

本文针对无氯技术制备高纯多晶硅工艺路线的工艺、工艺步骤进行具体化描述、配合各个参数进行分析论述，指出了无氯技术制备高纯多晶硅技术瓶颈。无氯技术制备高纯多晶硅工艺是针对目前多晶硅行业工艺技术的要求：材料的氯离子防腐蚀、氯硅烷物质理化性能、高耗能、高污染等因素提出一条全新的工艺路线，无氯制备高纯多晶硅技术不仅解决了工艺系统内部氯离子对金属材料的腐蚀，而且减少了氯离子对环境的危害。

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