压力条件对氯硅烷精馏影响的研究（加急）

　　

改良西门子法中，精馏工序通常起氯硅烷组分分离的作用。在闭环多晶硅生产过程中，需要分离的氯硅烷组分通常有两部分，一部分为四氯化硅冷氢化或三氯氢硅合成生产的原料氯硅烷，另一部分为还原化学气相沉积（CVD）反应后的混合氯硅烷。本文利用aspen模型，对多晶硅生产过程中的原料精馏分离塔进行模拟计算，分析压力变化对氯硅烷精馏分离的影响，为氯硅烷精馏塔的设计和工艺操作提供理论依据。结果表明，压力越低越能起到更好的分离效果和更低的热源消耗，氯硅烷精馏塔操作压力宜控制在5Bara以下。

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