MOS基甲醛气体传感器改性研究

　　

甲醛是一种无色有刺激性气味的有毒气体，危害公众健康，实现对甲醛现场快速监测具有重要的意义。基于金属氧化物半导体的气体传感器具有灵敏度高、响应快及可实时监测等优点被应用于有毒有害气体的检测，但其仍存在工作温度过高，受湿度影响大，选择性差的缺点。本文主要简述了常见的检测甲醛的金属氧化物半导体传感材料及传感机理，总结了几种有效提高甲醛传感性能的方法。

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