基于多晶硅棒电流与温度的无模型自适应控制

　　

针对硅棒表面温度和电气结构的问题，提出了一种改进无模型自适应在线控制方法；首先推导了硅棒表面温度与电流之间的关系，建立了双闭环控制系统模型；然后利用误差变化率与控制变化率为性能指标，用伪雅克比在等价数据点处等价线性化，对性能指标函数极小化，求得无模型控制器；增大控制输入差值周期，不仅能保证温度控制系统稳定性，又能提高系统对于温度控制的控制精度和动态性能；利用相关数学方法证明了算法的收敛性，该算法不包含系统的任何信息，容易实现；最后，仿真结果表明了该控制方法的有效性。

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