低温等离子体用高压脉冲产生方式与研究进展

　　

相较于传统的交流放电驱动等离子体产生方法，脉冲放电驱动下的等离子体产生的活性粒子更为丰富、能量利用率更高、均匀性更好，逐渐成为低温等离子体驱动源领域研究的热点。目前低温等离子体用高压脉冲产生方式种类多样，本文根据高压脉冲产生原理的不同，分别对直接产生方式、压缩方式、叠加方式和脉冲形成线方式等四类主要高压脉冲产生方式进行介绍，并对它们存在的问题及发展趋势进行简要概述。

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