柔性精细铜引线Cu-ITO蚀刻液的制备及工艺研究

　　

目的：为实现柔性精细铜引线，通过配制Cu/ITO双膜系蚀刻液并对其蚀刻工艺进行研究，得到蚀刻液的合理配比和最佳的工艺参数。方法：通过配制的蚀刻液进行分析，测试其对Cu膜的蚀刻程度，通过对蚀刻温度，喷淋压力，蚀刻时间、药液浓度等工艺参数进行调整控制，利用蚀刻液的高选择性，使Cu/ITO双膜系刻蚀一步完成图案化。结果：通过试验得到Cu/ITO双膜系蚀刻液的合理配比和最佳的工艺参数，进行批量化试验生产得到线宽线距L/S规格为35±5μm的产品，生产的Cu-Film Sensor在外观及功能测试方面可达到规格要求，金属铜线路边缘整齐美观，绝缘性在50MΩ以上，蚀刻后膜层附着力达到5B，产品高温高湿可靠性均符合规格要求 ，制程CPK大于1.33。意义：该工艺整个过程操作简练、安全环保而且配制的药液体系更加均匀稳定，可进行批量化稳定生产。

订阅方式：
①在线订阅（推荐）：www.sdchem.net.cn
②邮局订阅：邮发代号24-109

投稿方式：
①在线投稿（推荐）：www.sdchem.net.cn
　　作者只需要简单注册获得用户名和密码后，就可随时进行投稿、查稿，全程跟踪稿件的发表过程，使您的论文发表更加方便、快捷、透明、高效。
②邮箱投稿：sdhgtg@163.com sdhg@sdchem.net
　　若“在线投稿”不成功，可使用邮箱投稿，投稿邮件主题：第一作者名字/稿件题目。
投稿时请注意以下事项：
　　①文前应有中英文“题目”、“作者姓名”、“单位”、“邮编”、“摘要”、“关键词”；
　　②作者简介包括：姓名、出生年、性别、民族、籍贯或出生地、工作单位、职务或职称、学位、研究方向；
　　③论文末应附“参考文献”，执行国标GB/T7714-2005标准，“参考文献”序号应与论文中出现的顺序相符；
　　④注明作者的联系方式，包括电话、E-mail、详细的通讯地址、邮编，以便联系并邮寄杂志。
　　 　                                                                                   山东化工稿件修改细则