微电子器件防护用聚合物基辐射屏蔽复合材料研究进展

　　

摘要：高能辐射对微电子器件的损伤效应，严重影响其使用可靠性与服役寿命。传统金属屏蔽材料重量大，限制了器件系统的集成与轻量化发展。聚合物基辐射屏蔽复合材料因其轻质、易加工、可设计性强、低成本等优势，成为微电子器件防护材料的重要选择。重点综述了单组分、混合型、核壳型填料增强聚合物基屏蔽复合材料等典型材料的设计、制备及性能，对比分析了各类材料的优缺点，并对聚合物基复合屏蔽材料后续研究进行展望。

关键词：复合材料；聚合物；填料；辐射屏蔽；微电子器件防护

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