热处理对Al  Al2O3  BaTiO3薄膜电容器性能的影响

　　

钛酸钡薄膜电容器以其能量密度高、性能可靠等优点而成为新能源领域的研究对象。本文以铝片作为电极材料，预煅烧过的钛酸钡为电介质材料。采用在空气中热处理的方法，使提拉过钛酸钡的铝电极表面生成一层热氧化膜，并且通过探讨一定的热处理制度，得到最佳的氧化铝层，提高介电性能。 通过介电性能分析及等效电路模拟，得出铝表面生成了热氧化膜，升温速率10℃/min、保温时间120min是制备Al / Al₂O₃ / BaTiO₃电容器的最优条件，并且在500mHz下介电层介电常数达到3.84×10⁴，介电损耗为0.2801，电容器的电容值达到2.92uF。

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