电子级多晶硅生产技术探讨

　　

高端电子级多晶硅是集成电路产业的基础，但由于其对产品纯度和稳定性的苛刻要求，国内并没有厂家能够进行商业化量产，这并不利于集成电路行业的健康稳定发展。本文在国内已掌握的改良西门子法多晶硅生产技术的基础上，结合国外先进技术，对精馏、还原的工艺和配套设备都进行了改良，并将光伏级多晶硅和电子级多晶硅生产系统进行了耦合，提高了效率，降低了整体生产成本，降低了原料对于电子级多晶硅生产的制约，形成了闭路循环生产体系。

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